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#光刻胶 #负胶 #正胶 #光刻 #便携式AFM #ezAFM #nGauge #test

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标签页光刻胶的结果,共计1篇从2022-02-11到2022-02-11

正胶与负胶

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2732

2022-02-11

  • 光刻
  • 光刻胶

正胶与负胶

光刻胶(Resist): 是指一大类具有光敏化学作用的高分子聚合物材料。又称光阻,抗蚀剂等。这里的光可以是UV波段的i-line(365nm), g-line(436nm)DUV,EUV也可以是电子束(E-beam),X-ray,离子束甚至是同步辐射光源等。

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