浏览量
资源数
标签页光刻胶的结果,共计1篇从2022-02-11到2022-02-11
ilabilab
2649
2022-02-11
光刻胶(Resist): 是指一大类具有光敏化学作用的高分子聚合物材料。又称光阻,抗蚀剂等。这里的光可以是UV波段的i-line(365nm), g-line(436nm)DUV,EUV也可以是电子束(E-beam),X-ray,离子束甚至是同步辐射光源等。