1、主要负责新型MEMS器件加工、新工艺开发、技术转移转化等，协同器件设计、封装、测试等技术环节开展工作。
2、根据项目和产品定义与规范要求，制定MEMS工艺方案与研发进度；
3、全面了解制程设备，审核工艺文件（科学性、完整性、规范性），确保符合项目要求；
4、负责MEMS工艺加工、设计和仿真的进度跟踪及与其他部门的协调工作；
5、对MEMS器件的加工工艺问题进行追踪、监控、分析和认证，设计针对性实验和测试方法进行MEMS器件设计有效性的验证，解决工艺问题；
6、为供应商、客户提供必要的技术支持。